Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen (Schriftenreihe des Instituts fuer Angewandte ... Institut fuer Technologie) (German Edition) by Michael Teutsch


Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen (Schriftenreihe des Instituts fuer Angewandte ... Institut fuer Technologie) (German Edition)
Title : Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen (Schriftenreihe des Instituts fuer Angewandte ... Institut fuer Technologie) (German Edition)
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ISBN : 3731500264
ISBN-10 : 9783731500261
Language : German
Format Type : Paperback
Number of Pages : 202
Publication : Published June 7, 2013

Ni-Al-Superlegierungen sind bekannt fuer ihre guten mechanischen Eigenschaften unter hohen Temperaturen. Die elektrochemische Abscheidung von Ni mit Al-Nanopartikeln in LIGA-Strukturen und folgender Waermebehandlung bietet die Moeglichkeit, Ni-Al Superlegierungen fuer Hochtemperatur-LIGA-MEMS nutzbar zu machen. Ueber LIGA abgeschiedene Ni-Al-Mikrozugpruefkoerper zeigen in Mikrozug- sowie Mikrokriechversuche eine verbesserte thermische Stabilitaet gegen plastische Verformung.