
Title | : | Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen (Schriftenreihe des Instituts fuer Angewandte ... Institut fuer Technologie) (German Edition) |
Author | : | |
Rating | : | |
ISBN | : | 3731500264 |
ISBN-10 | : | 9783731500261 |
Language | : | German |
Format Type | : | Paperback |
Number of Pages | : | 202 |
Publication | : | Published June 7, 2013 |
Ni-Al-Superlegierungen sind bekannt fuer ihre guten mechanischen Eigenschaften unter hohen Temperaturen. Die elektrochemische Abscheidung von Ni mit Al-Nanopartikeln in LIGA-Strukturen und folgender Waermebehandlung bietet die Moeglichkeit, Ni-Al Superlegierungen fuer Hochtemperatur-LIGA-MEMS nutzbar zu machen. Ueber LIGA abgeschiedene Ni-Al-Mikrozugpruefkoerper zeigen in Mikrozug- sowie Mikrokriechversuche eine verbesserte thermische Stabilitaet gegen plastische Verformung.